

1、单选题:
本征硅的费米能级位于:( )
选项:
A:
略偏向
B:
C:
D:
略偏向
答案: 【
略偏向
】
2、单选题:
硼掺杂的硅中,下列说法正确的是:( )
选项:
A:与磷掺杂硅的导电类型一致
B:硅的晶体结构将发生改变
C:空穴浓度大于电子浓度
D:电子浓度大于空穴浓度
答案: 【空穴浓度大于电子浓度】
3、多选题:
抑制离子注入工艺中沟道效应的方法有( )。
选项:
A:降低离子注入能量
B:升高衬底温度
C:衬底表面沉积非晶薄膜
D:倾斜衬底
答案: 【升高衬底温度;
衬底表面沉积非晶薄膜;
倾斜衬底】
4、多选题:
制造单晶硅衬底的方法包括( )。
选项:
A:氧化还原法
B:外延生长法
C:区域熔融法
D:直拉法
答案: 【区域熔融法;
直拉法】
5、判断题:
当硅中掺杂浓度越小时,费米能级越靠近Ei。( )
选项:
A:错
B:对
答案: 【对】
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