1、单选题：
微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法，加工形成的部件或结构本身的尺寸在（ ）量级。
选项：
A:纳米
B:微米或纳米
C:微米
答案: 【微米或纳米】

2、多选题：
光刻工艺的基本要素主要包括（ ）。
选项：
A:对准系统
B:光刻胶
C:光源
答案: 【对准系统;
光刻胶;
光源】

3、单选题：
刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（ ）。
选项：
A:刻蚀的方向性
B:掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性
C:掩膜的抗刻蚀比
答案: 【掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性】

4、判断题：
间接加工技术能够绕过现有设备加工能力极限，意指直接光刻技术，其图形结构的分辨率决定于某种光刻方法的分辨率。（ ）
选项：
A:对
B:错
答案: 【错】

5、判断题：
间接加工技术就是光刻加图形转移技术。（ ）
选项：
A:错
B:对
答案: 【错】